Bereits zum fünften Mal treffen sich die Experten für Plasmaanalyse zu einem gemeinsamen Workshop und diskutieren etablierte und neue Methoden zur Prozessüberwachung von Plasma-basierten Beschichtungs- und Ätzverfahren. Der Grundgedanke der Veranstaltung ist zunächst die Auffrischung von Grundwissen rund um Plasma und Plasmaanalyse. Drei wesentliche Untersuchungsprinzipien von (1) der Analyse von Strom, Spannung und Phase, (2) spektroskopischer Methoden sowie (3) Sonden und Massenspektrometrie zur Analyse der Teilchen in der Gasphase bilden den Auftakt der Veranstaltung. Dabei, stehen sowohl die wissenschaftlichen Grundlagen als auch die industrielle Anwendungsbezogene Sicht aus den Unternehmen im Fokus.

Im Verlauf des Workshops werden zum einen Beispiel-Szenarien und unterschiedliche Untersuchungsmethoden zum einen für Sputter-Prozesse und zum anderen für Ätz-Prozesse näher beleuchtet. Prozess-spezifische Einblicke an Beispielen aus der Praxis sollen den Teilnehmern gezielte Hinweise für Ihre Anwendung geben. Dabei soll die Brücke geschlagen werden von unverzichtbaren Messverfahren, die zur Prozessüberwachung und Qualitätskontrolle notwendig sind, bis hin zur vertiefenden Untersuchung für Prozessentwicklung und Fehleranalyse, wo Wissen über detaillierte Vorgänge notwendig wird, Prozessverständnis eine große Rolle spielt und Licht ins Dunkel der Prozessoptimierung gebracht werden soll.

Abgerundet wird das Programm mit Beiträgen zur Diskussion für zukünftige Fragestellungen aus dem Bereich der Plasmakatalyse sowie der Nutzung künstlicher Intelligenz für eine schnelle und zielsichere Datenauswertung und Prozesssteuerung. Welche Möglichkeiten und Chancen bieten sich durch die Kombination von Simulation und Künstlicher Intelligenz. Wo lohnt sich der Auswand und sind überhaupt ausreichend Daten verfügbar, an denen die KI arbeiten kann? Wir haben KI-Experten eingeladen. Nutzen Sie die Chance und lassen Sie sich unverbindlich beraten.

Begleitet wird die Veranstaltung durch das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP in Dresden, welches den Besuchern im Rahmen einer Besichtigung Einblicke in die Praxis gewährt und passende Dienstleistungsangebote für Firmen vorstellt. Im Rahmen der Abendveranstaltung können Sie bei einem winterlichen Glühwein den Charme des Dresdner Weihnachtsmarktes auf dem Neumarkt miterleben. Reisen Sie rechtzeitig an und genießen Sie einen Spaziergang über den Weihnachtsmarkt an der Frauenkirche. Gleich ins Programm schauen und anmelden!

Nähere Informationen finden Sie hier: https://efds.org/en/event/workshop-diag-2025/

Veranstalter: Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e. V.